Περιγραφή προϊόντων
Η καρδιά της κατασκευής cleanroom,Αντλίες κενού ημιαγωγώνέχουν σχεδιαστεί με ακρίβεια- για να ανταποκρίνονται στις εξαιρετικά αυστηρές απαιτήσεις της κατασκευής μικροηλεκτρονικών. Αυτές οι αντλίες έχουν σχεδιαστεί για να παρέχουν ένα απόλυτα καθαρό, σταθερό και{2}}περιβάλλον κενού χωρίς κραδασμούς, το οποίο είναι απολύτως κρίσιμο για διαδικασίες όπου ακόμη και η μικροσκοπική μόλυνση μπορεί να οδηγήσει σε καταστροφική αστοχία του προϊόντος.προϊόνχρησιμοποιούν καθολικά σχέδια-ελεύθερα και διαβρωτικά-, χρησιμοποιώντας συχνά εξειδικευμένα υλικά που μπορούν να αντέξουν τα επιθετικά αέρια διεργασίας. Επιτυγχάνουν τα απαραίτητα υψηλά επίπεδα κενού, συνήθως μέχρι 0,001 Pascal, με ρυθμιζόμενους ρυθμούς ροής και έχουν σχεδιαστεί για να παρουσιάζουν εξαιρετικά χαμηλά προφίλ δόνησης για την αποφυγή ζημιών σε ευαίσθητες νανοδομές.
Η σπονδυλωτή φιλοσοφία σχεδίασής τους επιτρέπει την άμεση ενσωμάτωση σε σύνθετα σύνολα εργαλείων και διευκολύνει την ευκολότερη συντήρηση, η οποία είναι ζωτικής σημασίας για την ελαχιστοποίηση του δαπανηρού χρόνου ακινητοποίησης του εργαλείου. Η πρωταρχική εφαρμογή τουΑντλίες κενού ημιαγωγώνείναι, όπως υποδηλώνει το όνομα, στη βιομηχανία ημιαγωγών, όπου χρησιμοποιούνται σχεδόν σε κάθε στάδιο της παραγωγής τσιπ, από τη χάραξη και την εναπόθεση έως την εμφύτευση ιόντων και τη λιθογραφία. Είναι επίσης ζωτικής σημασίας σε συναφείς τομείς όπως η ηλεκτρονική συσκευασία και η κατασκευή φωτοβολταϊκών κυττάρων. Πέρα από τα ηλεκτρονικά, αυτές οι αντλίες χρησιμοποιούνται σε μηχανήματα καουτσούκ και πλαστικών για την επεξεργασία υλικών υψηλής ποιότητας-ημιαγωγών-καθαρότητας. Στη συσκευασία τροφίμων, βοηθούν στην ανάπτυξη εξειδικευμένων συσκευασιών για ευαίσθητα ηλεκτρονικά εξαρτήματα. Μέσα σε ειδικά συστήματα επίστρωσης κενού,προϊόνείναι απαραίτητες για την εκτέλεση διαδικασιών επίστρωσης-ποιότητας ημιαγωγών που απαιτούν απόλυτη καθαρότητα και αξιοπιστία. Όταν η επιτυχία της διαδικασίας σας εξαρτάται από ένα άψογο και αταλάντευτο κενό,Αντλίες κενού ημιαγωγώναποτελούν την οριστική και αξιόπιστη λύση.
|
Βασικές παράμετροι |
τύποςΑριθμός |
||||
|
DLT.LG180 |
DLT.LG360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
DLT.LG1100 |
|
|
Ταχύτητα άντλησης, m3/h |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
Τελική πίεση, Pa |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
Ταχύτητα περιστροφής, r/min |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
Θόρυβος Lp, dB(A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
Μέγιστη κατανάλωση νερού, L/min |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
Διάμετρος εισόδου, mm |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
Διάμετρος θύρας εξάτμισης, mm |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
Ισχύς κινητήρα, kW |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
Βάρος κεφαλής αντλίας, kg |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
Δημοφιλείς Ετικέτες: αντλίες κενού ημιαγωγών, Κίνα κατασκευαστές αντλιών κενού ημιαγωγών, προμηθευτές, εργοστάσιο